(2016年6月17日)
取締役、アメリカンファミリー生命保険日本における代表者兼会長、チャールズ・ディトーマス・レイク二世
常務執行役員ＡＴＳＢＵＧＭ（取締役兼常務執行役員グローバル・フィールド統括本部副本部長兼東京エレクトロンＵＳホールディングス取締役兼東京エレクトロンアメリカ会長兼ＴＥＬテクノロジーセンターアメリカマネージャー兼ＴＥＬエピオン取締役兼東京エレクトロンヨーロッパ会長）鷲野憲治
退任（取締役）伊東晃
退任（取締役）坂根正弘
グローバル・フィールド統括本部長（事業本部副本部長）常務執行役員、堤秀介
台湾リージョン本部長（台湾リージョン本部副本部長）秦雅章
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(2015年6月19日)
会長（副会長兼執行役員ＣｏｒｐｏｒａｔｅＳｔｒａｔｅｇｙ・ＩＲ担当）常石哲男
社長（会長兼社長）ＣＥＯ、東哲郎
副社長兼ＣＯＯ事業推進統括本部長兼ビジネスユニット本部長（執行役員ＳＰＳＢＵＧＭ）河合利樹
グローバル・フィールド統括本部長（ＳＰＥ事業担当兼ＳＰＥ営業統括本部長兼ＥＳＢＵＧＭ）取締役兼専務執行役員、伊東晃
常務執行役員グローバル・フィールド統括本部副本部長（執行役員コーポレート開発本部／ＡＴＳ／ＦＰＤ／ＰＶＥ担当）取締役、鷲野憲治
同ファイナンス・リーガル本部長兼ＩＲ・コンプライアンス・内部統制担当（同コーポレート管理本部副本部長）同、堀哲朗
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(2015年6月19日)
ＴＥＬベンチャーキャピタル会長兼東京エレクトロンＵＳホールディングス取締役兼東京エレクトロンアメリカ取締役兼東京エレクトロンヨーロッパ取締役兼ＴＥＬエピオン取締役兼ＴＥＬネックス取締役兼ＴＥＬソーラーホールディング取締役兼ＴＥＬソーラーＩＰ取締役兼東京エレクトロンコリア理事兼東京エレクトロン台湾董事兼東京エレクトロン上海董事（ＴＥＬＦＳＩシンガポール取締役兼ＴＥＬＦＳＩ上海董事兼ＴＥＬＦＳＩ台湾董事兼ＴＥＬＦＳＩコリア取締役）副社長兼ＣＯＯ事業推進統括本部長兼ビジネスユニット本部長、河合利樹
東京エレクトロン台湾董事、取締役兼専務執行役員グローバル・フィールド統括本部長、伊東晃
東京エレクトロンヨーロッパ会長兼東京エレクトロンＵＳホールディングス取締役（ＴＥＬベンチャーキャピタル会長兼ＴＥＬソーラーホールディング会長兼ＴＥＬソーラー会長兼ＴＥＬソーラーＩＰ取締役兼ＴＥＬソーラーラボ取締役兼ＴＥＬレーザーシステムズマネージングダイレクター兼ＴＥＬソーラーシンガポール取締役兼ＴＥＬソーラーＵＳ取締役兼ＴＥＬソーラー台湾董事長兼ＴＥＬソーラー上海董事長兼東京エレクトロン昆山董事）取締役兼常務執行役員グローバル・フィールド統括本部副本部長、鷲野憲治
執行役員経営戦略担当（ＩｎｔｅｇｒａｔｉｏｎＭａｎａｇｅｍｅｎｔＯｆｆｉｃｅリーダー兼東京エレクトロンＵＳホールディングスＳＶＰ）浜島雅彦
韓国リージョン本部副本部長（韓国営業本部長）金山性義
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(2014年10月11日)
ＴＥＬＦＳＩプレジデント、取締役兼専務執行役員ＳＰＥ営業統括本部長兼ＥＳＢＵＧＭ、伊東晃
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