(2020年6月23日)
代表取締役（取締役）専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
アドバイザー（執行役員輸出物流管理本部長）佐々木健夫
アドバイザー（執行役員業務改革プロジェクト担当兼業務改革プロジェクトサブリーダー）清水正
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(2018年7月1日)
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＩｎｎｏｖａｔｉｏｎ本部長（事業本部長）社長兼ＣＥＯ、河合利樹
生産技術部門担当（第二開発生産本部長兼調達・生産企画室長）取締役兼専務執行役員、北山博文
人事・総務・ＣＳＲ本部長兼法務・コンプライアンス本部長（人事・総務本部長兼コンプライアンス担当）取締役兼常務執行役員長、久保達也
フィールドソリューション事業本部長（ＦＳＢＵＧＭ）取締役兼常務執行役員、春原清
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＭａｒｋｅｔｉｎｇ担当（グローバル・フィールド本部統括本部長）常務執行役員、堤秀介
ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部長兼ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部ＧＭ（グローバル・フィールド本部統括副本部長兼リージョン戦略企画本部長）常務執行役員、大久保豪
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(2018年4月1日)
取締役（代表取締役兼ＣＦＯ内部統制・コンプライアンス担当兼ファイナンス・リーガル・ＩＴ本部長）専務執行役員、堀哲朗
内部統制・ＣＳＲ・コンプライアンス担当（ＣＳＲ推進・人事・総務担当）取締役兼常務執行役員人事・総務本部長長、久保達也
知的財産担当、執行役員、佐々木健夫
ＴＦＦ営業部長、執行役員ＴＦＦＢＵＧＭ部長、多田新吾
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズに出向（ＴＦＦ営業部長）水上幸治
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(2014年1月1日)
執行役員法務担当、法務・、佐々木健夫
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