(2024年7月1日)
開発生産本部・コーポレート生産本部担当兼業務改革DX推進プロジェクトリーダー、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
GlobalBusinessPlatform本部・ファイナンス本部担当（GlobalBusinessPlatform本部長兼業務改革プロジェクトリーダー兼内部統制担当兼TELMagneticSolutionsMemberoftheBoard兼TokyoElectronIndiaMemberoftheBoard）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
AccountSales本部担当（AccountSales本部長兼TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、池田世崇
CorporateInnovation本部担当（SPE事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
GlobalSales本部・GlobalCustomerEngineering本部担当（GlobalSales本部長兼DSS事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、大久保豪
常務執行役員前工程事業本部ディビジョンオフィサー（執行役員ESBUGM）コーポレートオフィサー、石田博之
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(2024年4月1日)
IR/SR管掌（CFO）取締役兼執行役員、藤内聖文
パートナー営業統括部長（エンタープライズ営業統括部長）執行役員営業本部副本部長、光永剛
執行役員DI本部長兼データインテグレーション統括部長（DI本部副本部長兼DP統括部長）山西雅之
営業本部事業企画統括部長（マーケティング部長）野間英徳
営業本部データインテグレーション営業統括部長（ソリューション営業統括部長兼西日本・中部営業部長）田中靖昭
DI本部データインテグレーション統括部副統括部長（経営戦略本部IT推進部長）丸山直樹
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(2023年4月1日)
社長執行役員兼CEO、代表取締役、葉山誠
常務執行役員営業本部長（上席執行役員DI・ビジネス統括）取締役、石田誠司
執行役員開発本部長、取締役、山本善久
執行役員兼CFO、取締役、藤内聖文
CTO（DevOps副統括）執行役員、有馬三郎
CHRO経営戦略本部長（コーポレートデベロップメントセンター副センター長兼HR戦略部長）執行役員、小山和也
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(2019年10月1日)
GlobalBusinessPlatform統括本部長兼ファイナンス本部長（ファイナンス本部・輸出物流管理本部・IT本部担当）取締役兼専務執行役員、布川好一
GlobalBusinessPlatform統括本部副本部長兼人事・総務・CSR・ブランド本部長（人事・総務・CSR本部長）取締役兼常務執行役員法務・コンプライアンス本部長、長久保達也
財務部長、経理部長、笹川謙
3DI部長（テストシステム部長）ATSBUGM部長、佐藤陽平
テストシステム部長、冨岡伸介
先端データ企画部長、守屋剛
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