(2024年7月1日)
開発生産本部・コーポレート生産本部担当兼業務改革DX推進プロジェクトリーダー、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
GlobalBusinessPlatform本部・ファイナンス本部担当（GlobalBusinessPlatform本部長兼業務改革プロジェクトリーダー兼内部統制担当兼TELMagneticSolutionsMemberoftheBoard兼TokyoElectronIndiaMemberoftheBoard）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
AccountSales本部担当（AccountSales本部長兼TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、池田世崇
CorporateInnovation本部担当（SPE事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
GlobalSales本部・GlobalCustomerEngineering本部担当（GlobalSales本部長兼DSS事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、大久保豪
常務執行役員前工程事業本部ディビジョンオフィサー（執行役員ESBUGM）コーポレートオフィサー、石田博之
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(2023年10月1日)
事業本部デジタル推進部門長（デジタル推進部門副部門長）執行役員、山浦雅生
執行役員事業本部システム部門長（総合技術サービス部門副部門長）橋川幹宏
事業本部採用管理部門長（総合技術サービス部門副部門長）執行役員、山田逸平
事業本部システム部門副部門長（事業管理部長）井藤聖史
事業本部採用管理部門採用管理部長（事業本部事業管理部付採用担当部長）石井祐吾
事業本部事業管理部長、サステナビリティ推進室 担当課長、多々良高行
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(2022年10月1日)
事業本部長兼総合技術サービス部門長（西日本事業本部長）執行役員、鶴純一
事業本部副本部長、執行役員トヨタ領域統括部門長、長沢智史
事業本部副本部長兼デジタル推進部門長（東日本事業本部副本部長兼受託領域統括部門長）執行役員、金井孝宣
経営企画部門長兼サステナビリティ推進室長（東日本事業本部長）執行役員、藤田知哲
経営管理部門長（経営管理本部長）執行役員総務部長、鈴木和幸
事業本部教育管理部門長、執行役員、湯田光紀
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