(2015年1月1日)
エッチングシステムマーケティング兼プロダクトセールス一、執行役員ＥＳ副ＢＵＧＭ、三田野好伸
東京エレクトロン宮城執行役員（エッチングシステムマーケティング兼プロダクトセールス一）和久井勇
コーポレート管理本部付担当部長（人事兼人材開発センター長）川本弘
人事兼人材開発センター長（総務）前島裕紀
総務、阿曽達也
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(2012年2月1日)
経営戦略室長、執行役員知的財産・、堀哲朗
総務（経営戦略室長）前島裕紀
東京エレクトロン九州執行役員（総務）伊吹方志
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