(2021年4月1日)
専務広報・IR担当（常務）最高財務責任者、近藤洋一
シニアフェロー（最高技術責任者）常務、灘原壮一
常務執行役員事業企画・IM事業担当兼コーポレートマーケティング室長（SCREENセミコンダクターソリューションズ執行役員兼SCREENSPEGermany社長）大塚純二
常務執行役員（上席執行役員）石川義久
上席執行役員（執行役員）吉岡正喜
経理・財務室経理部長、執行役員経理・財務室長、宮川明彦
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(2018年4月1日)
品質統轄担当（ＨＲ・インフラ統轄担当）代表取締役兼社長執行役員ビジネス本部長、須原忠浩
監査役、吉川敦則
顧問（監査役）谷田研一
常務執行役員ＴＳ製品統轄担当兼ＣＣＳ製品統轄部洗浄技術開発部長（執行役員）ＣＣＳ製品統轄部長、田中真人
ＳＣＭ統轄部長（グローバルセールス統轄部長兼韓国営業部長）執行役員、山田光浩
執行役員、経営戦略統轄部長兼経営管理部長兼業務改革推進部長・、石村学
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(2016年4月1日)
代表取締役兼社長執行役員（社長）須原忠浩
常務執行役員生産統轄担当兼ＣＣＳ製品統轄部長（洗浄技術統轄部長）取締役、後藤正人
常務執行役員技術／製品ポートフォリオ・アライアンス担当、取締役兼最高技術責任者、ヴァテール・オリヴィエ
常務執行役員開発統轄・品質統轄・彦根地区担当（取締役開発統轄部長）内田博文
常務執行役員東京地区担当（取締役製造統轄部長）安藤公人
執行役員兼ＳＣＲＥＥＮＳＰＥ台湾董事長兼総経理（ＰＳ統轄部長）西田啓二
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