(2023年11月1日)
IR室長、高木純子
IR室グローバルヘッド（IR室長）八田浩一
コーポレート生産本部長補佐、立山清久
TEL Manufacturing and 　Engineering of America,Inc. 　Senior Executive 　Vice President TEL Technology Center, 　America, LLC 　Member of the Board（Corporate Innovation本部 副本部長）東京エレクトロン九州(株) 　執行役員 TEL Manufacturing and 　Engineering of America,Inc. 　Member of the Board 、北野淳一
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(2022年10月1日)
TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronAmericaMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事兼TokyoElectronTaiwan董事、コーポレートオフィサー兼専務執行役員AccountSales本部長、池田世崇
TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TELVentureCapitalMemberoftheBoard、コーポレートオフィサー兼専務執行役員SPE事業本部長、三田野好伸
TELManufacturingandEngineeringofAmericaMemberoftheBoard兼TokyoElectronShanghai董事兼TokyoElectronSingaporeMemberoftheboard、コーポレートオフィサー兼専務執行役員GlobalSales本部長兼フィールドソリューション事業本部長、大久保豪
TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TELVentureCapitalMemberoftheBoard、執行役員GlobalBusinessPlatform本部副本部長兼ファイナンスユニットGM兼財務部長、川本弘
TokyoElectronShanghai董事、中原哲也
TELManufacturingandEngineeringofAmericaMemberoftheBoard、CorporateInnovation本部副本部長、北野淳一
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(2021年5月1日)
CorporateInnovation本部長代理（開発企画推進部長）開発戦略部長、瀬川澄江
CorporateInnovation本部副本部長、東京エレクトロン九州執行役員、北野淳一
CorporateInnovation本部開発企画推進部長、岡崎浩
CorporateInnovation本部長補佐（CorporateInnovation本部副本部長）アライアンス戦略室長、関口章久
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