(2024年4月1日)
専務執行役員経営戦略本部長、後藤正人
ADPKG事業担当（新規事業・IM事業担当）常務執行役員、大塚純二
常務執行役員技術開発戦略本部長（上席執行役員技術開発担当）吉岡正喜
人財戦略本部長（総務・人事担当）上席執行役員、白石康人
上席執行役員経営戦略本部経営企画担当（執行役員）経営企画室長、樋口義之
上席執行役員財務戦略本部長（執行役員経理・財務室長）宮川明彦
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(2021年4月1日)
専務広報・IR担当（常務）最高財務責任者、近藤洋一
シニアフェロー（最高技術責任者）常務、灘原壮一
常務執行役員事業企画・IM事業担当兼コーポレートマーケティング室長（SCREENセミコンダクターソリューションズ執行役員兼SCREENSPEGermany社長）大塚純二
常務執行役員（上席執行役員）石川義久
上席執行役員（執行役員）吉岡正喜
経理・財務室経理部長、執行役員経理・財務室長、宮川明彦
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(2018年4月1日)
ライフサイエンス事業室長、上席執行役員、上志正博
執行役員総務・人事室長、河原林正
執行役員技術開発担当（第一技術開発室長）第三技術開発室長、吉岡正喜
安全保障貿易管理室長、椙谷真也
開発管理室長、高橋正行
第一技術開発室長、小久保正彦
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(2017年4月1日)
第三技術開発室長、第一技術開発室長、吉岡正喜
ＳＣｉ室長、西村良明
ＨＲ・インフラ統轄部長兼ＨＲ・インフラ部長（経営戦略統轄部副統轄部長兼経営戦略部長）今井渉
経営戦略統轄部副統轄部長、業務改革推進部長・、藤井康徳
品質統轄部副統轄部長（ＣＣＳ製品統轄部プロダクトマネジメント部長）岩本正巳
ＣＣＳ製品統轄部副統轄部長（アプリケーション技術部長）新居健一郎
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