(2017年10月1日)
技術戦略本部副本部長兼先端半導体技術部門グローバルＲ＆Ｄ担当（先端半導体技術部門担当）執行役員、関口章久
技術戦略本部情報技術戦略部門ビジネスイノベーション担当（同部門ビジネスイノベーション担当）同コーポレートプロジェクト部長・、西垣寿彦
第一開発生産本部システム開発部門担当（システム開発センター長）執行役員、田原計志
第一開発生産本部装置開発兼ＡＩ開発部長（東京エレクトロン宮城ソフト技術開発部長）石沢繁
第一開発生産本部システム開発部長（第一開発生産本部システム開発センター）松田克彦
第一開発生産本部ＰＦ開発部長（第一開発生産本部システム開発センター担当部長）堀内孝
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(2016年2月1日)
コーポレート製品開発・製品開発部門担当、取締役兼常務執行役員開発・生産本部長、佐々木貞夫
コーポレート製品開発副担当（コーポレート開発部門担当）取締役兼常務執行役員開発・生産本部副本部長、鄭基市
製品開発部門副担当、執行役員、田原好文
革新技術企画部門担当兼革新技術企画室長（コーポレート開発部門副担当兼技術開発センター長）常務執行役員、保坂重敏
執行役員先端半導体技術部門担当兼ＢＵプロジェクト兼グローバル開発センター長兼技術マーケティング（ＳＰＥマーケティング部門担当兼ＳＰＥマーケティング兼パターニングソリューションプロジェクトリーダー）関口章久
製品開発センター長（技術開発センター副センター長）川上聡
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(2013年7月1日)
副社長倫理・製造・技術・システム開発本部・ＩＴ担当（代表取締役兼専務執行役員）生産本部長、北山博文
ＳＰＥマーケティング・プロセス開発本部副本部長（ＳＰＥマーケティング本部長）ＳＰＥマーケティング・、関口章久
ＰＶＥ本部副本部長（ＰＶＥ開発）松永大輔
ＰＶＥ開発、林博昭
共通プラットフォームプロジェクト、堀内孝
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