(2024年7月1日)
開発生産本部・コーポレート生産本部担当兼業務改革DX推進プロジェクトリーダー、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
GlobalBusinessPlatform本部・ファイナンス本部担当（GlobalBusinessPlatform本部長兼業務改革プロジェクトリーダー兼内部統制担当兼TELMagneticSolutionsMemberoftheBoard兼TokyoElectronIndiaMemberoftheBoard）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
AccountSales本部担当（AccountSales本部長兼TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、池田世崇
CorporateInnovation本部担当（SPE事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
GlobalSales本部・GlobalCustomerEngineering本部担当（GlobalSales本部長兼DSS事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、大久保豪
常務執行役員前工程事業本部ディビジョンオフィサー（執行役員ESBUGM）コーポレートオフィサー、石田博之
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(2018年7月1日)
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＩｎｎｏｖａｔｉｏｎ本部長（事業本部長）社長兼ＣＥＯ、河合利樹
生産技術部門担当（第二開発生産本部長兼調達・生産企画室長）取締役兼専務執行役員、北山博文
人事・総務・ＣＳＲ本部長兼法務・コンプライアンス本部長（人事・総務本部長兼コンプライアンス担当）取締役兼常務執行役員長、久保達也
フィールドソリューション事業本部長（ＦＳＢＵＧＭ）取締役兼常務執行役員、春原清
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＭａｒｋｅｔｉｎｇ担当（グローバル・フィールド本部統括本部長）常務執行役員、堤秀介
ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部長兼ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部ＧＭ（グローバル・フィールド本部統括副本部長兼リージョン戦略企画本部長）常務執行役員、大久保豪
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(2018年4月1日)
取締役（代表取締役兼ＣＦＯ内部統制・コンプライアンス担当兼ファイナンス・リーガル・ＩＴ本部長）専務執行役員、堀哲朗
内部統制・ＣＳＲ・コンプライアンス担当（ＣＳＲ推進・人事・総務担当）取締役兼常務執行役員人事・総務本部長長、久保達也
知的財産担当、執行役員、佐々木健夫
ＴＦＦ営業部長、執行役員ＴＦＦＢＵＧＭ部長、多田新吾
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズに出向（ＴＦＦ営業部長）水上幸治
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(2016年7月1日)
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼コーポレート製品開発副担当）取締役兼常務執行役員、鄭基市
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼塗布・洗浄担当）取締役兼常務執行役員、飽本正巳
常務執行役員グローバル・フィールド本部統括副本部長（執行役員ＳＤＢＵＧＭ）大久保豪
常務執行役員塗布・洗浄ＢＵＧＭ（執行役員ＣＴＢＵＧＭ）池田世崇
常務執行役員（執行役員）ＦＳＢＵＧＭ、春原清
成膜ＢＵＧＭ（ＴＰＳＢＵＧＭ）執行役員、多田新吾
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