(2016年9月1日)
原子力セクターシステム設計部長（プロセス設計グループ部長）大島誠司
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(2016年6月下旬)
取締役（監査役）服部秀一
取締役、Ｇ＆Ｓグローバル・アドバイザーズ社長橘・フクシマ・、咲江
取締役（監査役）米田正典
取締役、山口伸淑
グループ専務執行役員（取締役兼専務執行役員）徳広慶三
常務執行役員（同兼常務執行役員）システムソリューション事業部長、田中米太
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(2013年6月下旬)
取締役兼常務執行役員（上級執行役員）技術統括部長、田中米太
同兼常務執行役員（同）経営本部長兼事業企画・、小林敦之
常勤監査役（取締役兼専務執行役員経営本部担当）大島誠司
顧問（常勤監査役）中山繁樹
退任（取締役）後藤学
同（常勤監査役）中一進
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(2013年4月1日)
経営本部担当（ＣＦＯ経営本部長）取締役兼専務執行役員、大島誠司
事業本部品質保証センター担当、取締役兼常務執行役員、多田龍太郎
経営本部長、上級執行役員事業本部事業企画・、小林敦之
上級執行役員（執行役員）事業本部第一製造事業部長、山口敬造
事業本部第一事業部副事業部長（第一事業部次長兼露光ＢＵ長）執行役員、井上豊治
執行役員、事業本部第二製造事業部、長辻宏二
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