(2024年10月1日)
事業創出本部研究開発部門副部門長兼新事業開発部長（マーケティング部門副部門長兼クライメイト・ソリューション部長）鮫島貴紀
生産本部製造部門共育センター部長、製造部門長、黒川幸生
光プロセス事業部LightSourceGBUSH技術部長、前田圭逸
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(2024年7月1日)
フォトリソ事業部露光グローバルビジネスユニット開発部長、事業創出本部マーケティング部門ヘルシーライフ・サポート部長、益田秀之
フォトリソ事業部露光グローバルビジネスユニット技術部長（光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー）麻生義典
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(2024年6月27日)
取締役（執行役員人事総務部門担当）木下誠
取締役、増山美佳
退任（取締役）内藤宏治
退任（取締役）川村直樹
退任（取締役）金丸恭文
退任（取締役）橘フクシマ咲江
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(2024年4月1日)
光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー（事業統括本部IndustrialProcess事業部EUVGBU技術開発統括部長）渡辺英典
光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー、麻生義典
光プロセス事業部要素技術開発チームリーダー、寺本雄介
光プロセス事業部量産技術開発チームリーダー、森本俊一
新技術開発チームリーダー、芦沢則孝
事業創出本部研究開発部門長、渡辺誠
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