(2024年4月1日)

光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー（事業統括本部IndustrialProcess事業部EUVGBU技術開発統括部長） 渡辺英典 　>

光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー、 麻生義典 　>

光プロセス事業部要素技術開発チームリーダー、 寺本雄介 　>

光プロセス事業部量産技術開発チームリーダー、 森本俊一 　>

新技術開発チームリーダー、 芦沢則孝 　>

事業創出本部研究開発部門長、 渡辺誠 　>

TEL 03-3242-1811