(2024年4月1日)
光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー（事業統括本部IndustrialProcess事業部EUVGBU技術開発統括部長）渡辺英典
光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー、麻生義典
光プロセス事業部要素技術開発チームリーダー、寺本雄介
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(2024年4月1日)
執行役員副社長兼COO兼CSuO（常務執行役員ESG推進本部長）取締役、中野哲男
フォトリソ事業部長（事業統括本部副本部長兼LifeScience事業部長）取締役兼常務執行役員、神山和久
上級執行役員事業創出本部長兼研究開発部門長兼マーケティング部門長兼技術戦略推進準備室長（執行役員）小高大樹
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(2024年4月1日)
社長兼執行役員社長兼CEO（取締役兼常務執行役員兼CFO）朝日崇文
取締役シニア・アドバイザー（社長兼執行役員社長兼CEO）内藤宏治
取締役シニア・アドバイザー（代表取締役兼執行役員副社長兼COO）川村直樹
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(2023年10月1日)
経営統括本部事業創出本部研究開発部門長兼調査部長、上級執行役員事業創出本部長兼マーケティング部門長、井ノ迫伸啓
経営統括本部事業創出本部研究開発部門副部門長、基盤技術開発部長、亀井宏市
事業統括本部生産本部製造部門第一製造部長、IndustrialProcess事業部SHGBU技術部長、河野洋一
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(2023年7月24日)
経営統括本部グループ経営戦略部門コーポレートコミュニケーション部長、取締役兼常務執行役員兼CFO経営統括本部長兼グループ経営戦略部門長、朝日崇文
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(2023年6月29日)
取締役会議長、取締役、松崎正年
取締役、常務執行役員ESG推進本部長、中野哲男
社外取締役、間下直晃
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(2023年4月1日)
経営統括本部グループ経営戦略部門長、取締役兼常務執行役員兼CFO経営統括本部長、朝日崇文
経営統括本部事業創出本部マーケティング部門長、上級執行役員事業創出本部長、井ノ迫伸啓
事業統括本部IndustrialProcess事業部長（牛尾貿易上海総経理）執行役員、安部建吉
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(2022年10月1日)
事業統括本部光源事業部サイエンスGBU営業部長（技術部長）小田史彦
事業統括本部光源事業部サイエンスGBU技術部長、紺谷亘
システムソリューション事業部グローバルCSセンターCS部長、三玉光昭
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(2022年6月29日)
社外取締役、松崎正年
社外取締役、有泉池秋
退任（社外取締役）原良也
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(2022年4月1日)
CEO、社長兼執行役員社長、内藤宏治
執行役員副社長兼COO（専務執行役員インキュベーションセンター長）代表取締役事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
常務執行役員事業統括本部副本部長兼光源事業部長（グループ上級執行役員クリスティデジタルシステムズ社長）取締役、神山和久
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(2022年4月1日)
経営統括本部グローバル経営戦略部門経営企画部長、楢崎真浩
経営統括本部グローバル経営戦略部門コーポレートコミュニケーション部長、橋本潔
経営統括本部グローバル人事総務戦略部門人事部長、坂口久美子
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(2021年10月1日)
事業統括本部光源事業部光源事業戦略室長（光源事業戦略室次長）今井貴紀
事業統括本部光源事業部サーマルプロセスビジネスユニット長、加藤雅規
事業統括本部システムソリューション事業部光プロセスビジネスユニット設計技術第二部長、石井一正
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(2021年6月29日)
取締役、上級執行役員経営統括本部長、朝日崇文
特別顧問（取締役）牛尾志朗
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(2021年4月1日)
上級執行役員事業統括本部システムソリューション事業部EUVビジネスユニット長（執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼EUV事業部門長）ビジネス統括部長、井ノ迫伸啓
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(2021年4月1日)
ウシオテクノラボ未来共創部長、R&D本部パワー・システム部長、鮫島貴紀
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット長（第一技術部門第三技術部長）嶋利之
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット営業部長、松本拓也
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(2020年6月26日)
取締役、杉原麗
取締役、須永明美
退任（取締役）米田正典
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(2020年5月12日)
代表取締役（取締役）専務執行役員、川村直樹
取締役相談役（会長）牛尾治朗
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(2020年4月1日)
事業統括本部インキュベーションセンター長、取締役兼専務執行役員事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員事業統括本部光源事業部副事業部長、河本雅人
事業統括本部システムソリューション事業部EUV事業部門ビジネス統括部長、執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼EUV事業部門長、井ノ迫伸啓
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(2019年10月1日)
事業統括本部光源事業部光源事業戦略室長、島本将弘
事業統括本部光源事業部技術部門第二技術部長、上嶋由紀夫
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(2019年9月1日)
業務監査室長、浅野琢
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