(2021年4月1日)
上級執行役員事業統括本部システムソリューション事業部EUVビジネスユニット長（執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼EUV事業部門長）ビジネス統括部長、井ノ迫伸啓
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(2021年4月1日)
ウシオテクノラボ未来共創部長、R&D本部パワー・システム部長、鮫島貴紀
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット長（第一技術部門第三技術部長）嶋利之
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット営業部長、松本拓也
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット技術部長、河野洋一
事業統括本部光源事業部プロジェクションビジネスユニット長（営業部門長）渡辺剛徳
事業統括本部光源事業部プロジェクションビジネスユニット営業部長（営業部門第一営業部長）小清水悟志
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(2020年6月26日)
取締役、杉原麗
取締役、須永明美
退任（取締役）米田正典
退任（取締役）山口伸淑
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(2020年5月12日)
代表取締役（取締役）専務執行役員、川村直樹
取締役相談役（会長）牛尾治朗
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