(2024年11月28日)
会長兼CEO（社長）渡辺誠
社長兼COO（常務）松永光市
執行役員、取締役、市川康平
取締役、執行役員、柳田拓也
取締役、執行役員、気仙直用
取締役兼執行役員、久木宮然
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(2024年4月1日)
日本事業本部長兼事業管理担当兼東日本統括部長（生産本部長兼生産企画グループ長）取締役兼常務執行役員、渡辺浩行
社長執行役員事業統括本部長（上席執行役員）真弓世紀
常務執行役員事業統括本部経営企画・情報システム・経理担当（執行役員経営企画室長兼デジタル改革推進グループ長）奥田正道
上席執行役員事業統括本部サステナビリティ推進・人事総務担当（管理本部総務部長）宮本泰二
執行役員、大竹晃雄
同開発事業本部開発技術センター長（金型製造部長）宮村健一
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(2024年4月1日)
光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー（事業統括本部IndustrialProcess事業部EUVGBU技術開発統括部長）渡辺英典
光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー、麻生義典
光プロセス事業部要素技術開発チームリーダー、寺本雄介
光プロセス事業部量産技術開発チームリーダー、森本俊一
新技術開発チームリーダー、芦沢則孝
事業創出本部研究開発部門長、渡辺誠
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(2023年4月24日)
札幌支店コンサルティング部長、谷川太一
横浜支店長（横浜西口支店長）井上直典
横浜支店コンサルティング第一部長（横浜西口支店コンサルティング第一部長）牧野有記
横浜支店コンサルティング第二部長（横浜西口支店コンサルティング第二部長）松元一生
横浜支店フィナンシャル・アドバイザリー部長（横浜西口支店フィナンシャル・アドバイザリー部長）渡辺誠
横浜支店総務管理部長、津田雄一郎
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