(2024年10月1日)
コーポレート生産本部環境・調達・技術・標準化担当GM、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
ブランド推進室長、執行役員経営戦略本部ディビジョンオフィサー、堂和寛
調達・生産企画室長（調達・生産企画室室長代理）坂口文緒
日本半導体製造装置協会出向（ブランド推進室長）太田恒和
東京エレクトロン宮城執行役員、東京エレクトロン宮城生産本部副本部長、田中公志
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(2022年7月1日)
法人営業本部関西営業部長、宮道耕一郎
法人営業本部エンジニアリング部長、中沢剛
名古屋営業本部法人営業第2部長、太田恒和
名古屋営業本部法人営業第3部長、白鳥克也
静岡営業本部お客さまサービス部長、小笠原龍介
岐阜営業本部お客さまサービス部長、臼井智昭
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(2019年7月1日)
CorporateInnovation本部長代理（CorporateMarketing担当）常務執行役員、堤秀介
CorporateInnovation本部DigitalTransformation担当（CorporateMarketing情報技術担当）執行役員、西垣寿彦
CorporateInnovation本部副本部長兼アライアンス戦略室長、関口章久
プロセスインテグレーションセンター長、大久保和哉
コーポレート技術マーケティング部長、早川崇
SDC装置開発部長（システム開発センター長）石沢繁
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