(2019年6月26日)
監査役（ジャパンパイル総務部顧問）大黒出
監査役、東京精密相談役、太田邦正
退任（監査役）前田正宏
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(2019年4月1日)
相談役（会長）太田邦正
執行役員常務半導体社八王子工場長（執行役員）三橋明生
執行役員半導体社品質保証・サービス部門長、江藤寿彦
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(2015年4月1日)
会長（社長）太田邦正
社長兼ＣＥＯ（代表取締役計測社執行役員社長）吉田均（よしだひとし）
副社長兼ＣＯＯ（同半導体社執行役員社長）木村龍一
取締役（同生産統括）梅中茂
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