(2025年4月1日)
半導体社執行役員カンパニー長（半導体社執行役員常務兼技術部門長兼テスト技術部長）取締役業務会社情報システム室長、伯耆田貴浩
計測社執行役員カンパニー長（半導体社執行役員）石川一政
業務会社執行役員カンパニー長（業務会社執行役員常務兼人事室長兼広報室長）監査室長、加藤朝史
半導体社執行役員常務兼営業部門統括部長（半導体社執行役員兼営業部門海外営業部長）井出良一
半導体社執行役員、生産本部副本部長兼飯能工場長兼製造部長、赤田幸治
半導体社営業部門海外営業部長、坂田亮
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(2024年6月21日)
取締役、川崎素子
退任（取締役）村田恒子
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(2024年4月1日)
半導体社技術部門要素技術開発部長（東精精密設備上海副総経理半導体事業部統括部長）執行役員、東正幸
計測社営業部門長、執行役員、増田岳史
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(2023年4月1日)
執行役員常務（執行役員）久保祐一
執行役員常務（執行役員）金沢雅喜
執行役員常務（執行役員）計測社技術部門長兼業務支援室長、藤田太一
執行役員常務（執行役員）小泉公人
執行役員、石川一政
執行役員常務、小野睦
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