(2026年4月1日)
半導体社執行役員常務（執行役員）技術部門CMPグループリーダ、酒井広幸
半導体社生産本部八王子工場長（飯能工場長兼製造兼総務部長）執行役員生産本部副本部長、赤田幸治
計測社技術部門BatteryTestSystemグループリーダ、計測社執行役員、小野睦
半導体社技術部門WMSグループリーダ（営業部門WMPグループリーダ）大塚宏泰
半導体社生産本部飯能工場長兼生産技術兼八王子工場生産技術部長（八王子工場製造部長）秋間浩史
半導体社営業部門国内営業部長、早船隆広
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(2025年6月23日)
CEO（COO）社長、木村龍一
CHRO兼CSO、業務会社執行役員カンパニー長、加藤朝史
CFO、業務会社執行役員常務兼経営支援室長、小泉公人
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(2025年6月23日)
取締役、高山清子
退任（取締役）川村浩一
退任（取締役）塚田修一
退任（取締役）須永真樹
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(2025年4月1日)
半導体社技術部門ダイサシステムグループリーダ、鎌田真治
半導体社技術部門プローバシステムグループリーダ、井口靖仁
計測社技術部門開発部長、森井秀樹
計測社土浦工場製造部長、大久保信宏
営業部門国内営業営業四部長、藤井省吾
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