(2022年4月1日)
CEO、社長兼執行役員社長、内藤宏治
執行役員副社長兼COO（専務執行役員インキュベーションセンター長）代表取締役事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
常務執行役員事業統括本部副本部長兼光源事業部長（グループ上級執行役員クリスティデジタルシステムズ社長）取締役、神山和久
常務執行役員兼CFO（上級執行役員）取締役経営統括本部長、朝日崇文
専務執行役員（グループ専務執行役員）徳広慶三
ESG推進本部長（事業統括本部副本部長兼光源事業部長）常務執行役員、中野哲男
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(2020年4月1日)
事業統括本部インキュベーションセンター長、取締役兼専務執行役員事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員事業統括本部光源事業部副事業部長、河本雅人
事業統括本部システムソリューション事業部EUV事業部門ビジネス統括部長、執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼EUV事業部門長、井ノ迫伸啓
ウシオテクノラボ長、浅見幸雄
経営統括本部経営戦略部門経営企画部長（秘書室長）西尾哲也
経営統括本部人事総務戦略部門人事部長、人事総務戦略部門長、丸岡史明
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(2015年4月1日)
Ｒ＆Ｄ本部担当（Ｒ＆Ｄ本部長）上級執行役員、林宏樹
光源事業部副事業部長、執行役員マーケティング＆イノベーション部門長、小曽根達悦
Ｒ＆Ｄ本部長（Ｒ＆Ｄ本部副本部長兼光源事業部マーケティング＆イノベーション部門副部門長）執行役員、吉岡正樹
光源事業部長（光源事業部副事業部長）同営業部門長、内藤宏治
経営本部人事、丸岡史明
Ｒ＆Ｄ本部プロセス開発（固体光源事業部モジュール技術）千賀岳人
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(2014年10月1日)
社長光源事業部長（代表取締役兼執行役員副社長）浜島健爾（はましまけんじ）
取締役相談役（社長）菅田史朗
経営本部担当（人事担当）取締役兼専務執行役員、多木正
ＳＳＬ事業部長（第一事業部長兼第二製造事業部担当）同兼常務執行役員、田中米太
バイオメディカル事業部長（バイオメディカル事業部担当）上級執行役員Ｒ＆Ｄ本部長、林宏樹
光源事業部副事業部長兼製造部門長（第一製造事業部長）上級執行役員、山口敬造
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