(2014年10月1日)
社長光源事業部長（代表取締役兼執行役員副社長）浜島健爾（はましまけんじ）
取締役相談役（社長）菅田史朗
経営本部担当（人事担当）取締役兼専務執行役員、多木正
ＳＳＬ事業部長（第一事業部長兼第二製造事業部担当）同兼常務執行役員、田中米太
バイオメディカル事業部長（バイオメディカル事業部担当）上級執行役員Ｒ＆Ｄ本部長、林宏樹
光源事業部副事業部長兼製造部門長（第一製造事業部長）上級執行役員、山口敬造
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(2013年4月1日)
経営本部担当（ＣＦＯ経営本部長）取締役兼専務執行役員、大島誠司
事業本部品質保証センター担当、取締役兼常務執行役員、多田龍太郎
経営本部長、上級執行役員事業本部事業企画・、小林敦之
上級執行役員（執行役員）事業本部第一製造事業部長、山口敬造
事業本部第一事業部副事業部長（第一事業部次長兼露光ＢＵ長）執行役員、井上豊治
執行役員、事業本部第二製造事業部、長辻宏二
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