(2024年7月1日)
取締役（専務）白忠烈
常務執行役員（上席執行役員）コンポーネント事業本部長、申周勲
常務執行役員開発本部未来技術研究所長兼知財・マテリアル事業推進担当（上席執行役員グローバル技術戦略担当）開発本部長、清田淳也
上席執行役員（執行役員中国ビジネス担当）高橋信次
執行役員、装置事業本部電子機器事業部長、岩井治憲
執行役員、装置事業本部半導体装置事業部長、岩沢宏明
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(2024年1月1日)
安全保障貿易管理部長、上席執行役員生産本部長兼サステナブル経営推進室長、衣川正剛
グローバル技術戦略担当、上席執行役員開発本部長、清田淳也
安全保障貿易管理部付（生産本部付）執行役員、岡正
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(2020年7月1日)
社長（代表取締役兼執行役員社長人財センター長）岩下節生
副社長グループ会社統括（取締役兼執行役員副社長経営推進センター長兼関連会社担当）本吉光
専務新ビジネス創成・サービスビジネス担当（取締役兼専務執行役員新ビジネス創成センター長）末代政輔
専務イノベーション担当兼アルバック・ファイ社長（取締役兼常務執行役員イノベーションセンター長）白忠烈
上席執行役員財務部長（取締役兼執行役員経営推進センター財務・経理部長）青木貞男
常務執行役員（執行役員）電子機器事業部長、島田鉄也
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