(2022年6月21日)
コーポレートオフィサー、社長兼CEOCorporateInnovation本部長、河合利樹
コーポレートオフィサー、代表取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
取締役会議長（専務執行役員GlobalBusinessPlatform本部長兼内部統制担当）取締役、布川好一
コーポレートオフィサーGlobalBusinessPlatform本部長兼内部統制担当（取締役GlobalBusinessPlatform本部副本部長兼東京エレクトロンBP取締役兼東京エレクトロンエージェンシー取締役）常務執行役員長、久保達也
コーポレートオフィサー（取締役）常務執行役員AccountSales本部長、池田世崇
コーポレートオフィサー（取締役）常務執行役員SPE事業本部長、三田野好伸
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(2021年6月18日)
東京エレクトロンFE取締役、取締役兼専務執行役員GlobalBusinessPlatform本部長、布川好一
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズアドバイザー・TFF技術担当（東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ執行役員）花田良幸
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(2019年10月1日)
GlobalBusinessPlatform統括本部長兼ファイナンス本部長（ファイナンス本部・輸出物流管理本部・IT本部担当）取締役兼専務執行役員、布川好一
GlobalBusinessPlatform統括本部副本部長兼人事・総務・CSR・ブランド本部長（人事・総務・CSR本部長）取締役兼常務執行役員法務・コンプライアンス本部長、長久保達也
財務部長、経理部長、笹川謙
3DI部長（テストシステム部長）ATSBUGM部長、佐藤陽平
テストシステム部長、冨岡伸介
先端データ企画部長、守屋剛
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(2019年6月19日)
東京エレクトロンエージェンシー取締役兼東京エレクトロンUSホールディングス取締役兼東京エレクトロンヨーロッパ取締役兼東京エレクトロンコリア監事兼東京エレクトロン台湾監事兼東京エレクトロンシンガポール取締役兼東京エレクトロン上海監事兼東京エレクトロン上海ロジスティックセンター監事兼東京エレクトロン昆山監事（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ監査役兼東京エレクトロン九州監査役兼東京エレクトロン宮城監査役）取締役兼専務執行役員、布川好一
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ監査役兼東京エレクトロン九州監査役兼東京エレクトロン宮城監査役兼東京エレクトロンBP監査役、常勤監査役、田原計志
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