(2020年4月1日)
事業統括本部インキュベーションセンター長、取締役兼専務執行役員事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員事業統括本部光源事業部副事業部長、河本雅人
事業統括本部システムソリューション事業部EUV事業部門ビジネス統括部長、執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼EUV事業部門長、井ノ迫伸啓
ウシオテクノラボ長、浅見幸雄
経営統括本部経営戦略部門経営企画部長（秘書室長）西尾哲也
経営統括本部人事総務戦略部門人事部長、人事総務戦略部門長、丸岡史明
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(2016年12月1日)
システムソリューション事業部ＡＳＥＴＴ推進室長、執行役員副事業部長、菅野孝幸
システムソリューション事業部カスタマーサービスセンター長（製造部門長）板羽昌行
システムソリューション事業部製造部門長（カスタマーサービスセンター長）西山浩光
システムソリューション事業部生産管理部門長兼生産管理部長（大阪支店長）前田英樹
システムソリューション事業部生産管理部門資材部長（ＡＳＥＴＴ推進室長）渡辺俊昌
大阪支店長、徳川雅昭
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