(2023年4月1日)
機能商品事業部機能商品営業部長（北上事業本部営業兼三菱イメージングMPM社長）執行役員機能商品事業部副事業部長、塚田英孝
紙素材事業部紙素材営業部長、酒井浩太郎
コーポレート・ガバナンス本部総務部長、多田和徳
コーポレート・ガバナンス本部ガバナンス統括部長（総務法務部長）野口洋隆
コーポレート・ガバナンス本部情報システム部長（研究開発本部知的財産部長）土井邦博
企画管理本部副本部長兼原材料部長（海外事業統括部長）小幡浩司
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(2022年7月1日)
副社長（専務執行役員第四開発生産本部長）コーポレートオフィサー第一開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
専務執行役員人事総務ユニットGM（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalBusinessPlatform本部長、長久保達也
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーAccountSales本部長、池田世崇
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーSPE事業本部長、三田野好伸
専務執行役員フィールドソリューション事業本部長（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalSales本部長、大久保豪
常務執行役員（執行役員）第二開発生産本部長、児島雅之
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(2019年7月1日)
CorporateInnovation本部長代理（CorporateMarketing担当）常務執行役員、堤秀介
CorporateInnovation本部DigitalTransformation担当（CorporateMarketing情報技術担当）執行役員、西垣寿彦
CorporateInnovation本部副本部長兼アライアンス戦略室長、関口章久
プロセスインテグレーションセンター長、大久保和哉
コーポレート技術マーケティング部長、早川崇
SDC装置開発部長（システム開発センター長）石沢繁
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(2016年7月1日)
開発・生産本部アカウントテクノロジー部長兼グローバルＲ＆Ｄ部長（ＢＵプロジェクト部長兼グローバル開発センター長兼技術マーケティング部長）執行役員、関口章久
開発・生産本部コーポレートプロジェクト部長、執行役員、西垣寿彦
開発・生産本部戦略推進部長（開発企画室長）山口光行
開発・生産本部開発企画部長（開発企画室室長代理）瀬川澄江
開発・生産本部アカウントテクノロジー部担当部長（技術マーケティング部部長代理）早川崇
開発・生産本部アカウントテクノロジー部担当部長（東京エレクトロン東北パートナービジネスデベロップメント部統括部長）石田博之
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