(2020年4月1日)
第五技術開発室長、執行役員、木瀬一夫
経営企画室経営企画部長、執行役員経営企画室長、樋口義之
執行役員秘書室・サステナブル経営担当（秘書室長）朝永正雄
コーポレートマーケティング室長（GPS室長）杉本憲司
秘書室長（SCREENファインテックソリューションズ事業統轄部長）百田雅人
経営企画室製造企画部長、清水正喜
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(2017年12月1日)
ＧＰＳ室長（ＳＣＲＥＥＮセミコンダクターソリューションズＣＳＲ部長）杉本憲司
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(2016年4月1日)
代表取締役兼社長執行役員（社長）須原忠浩
常務執行役員生産統轄担当兼ＣＣＳ製品統轄部長（洗浄技術統轄部長）取締役、後藤正人
常務執行役員技術／製品ポートフォリオ・アライアンス担当、取締役兼最高技術責任者、ヴァテール・オリヴィエ
常務執行役員開発統轄・品質統轄・彦根地区担当（取締役開発統轄部長）内田博文
常務執行役員東京地区担当（取締役製造統轄部長）安藤公人
執行役員兼ＳＣＲＥＥＮＳＰＥ台湾董事長兼総経理（ＰＳ統轄部長）西田啓二
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(2014年10月1日)
取締役兼最高技術責任者、オリヴィエ・ヴァテール
監査役、谷田研一
経営企画、岡本昭彦
統轄部長、大塚純二
副統轄部長、チャールズ・ペチュレスキー
同、ルーク・チャン
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