(2022年4月1日)
フェロー兼TOWAレーザーフロント取締役（開発本部・シンギュレーション開発本部担当兼開発本部長兼シンギュレーション開発本部長）取締役兼常務執行役員、浦上浩
開発本部・シンギュレーション開発本部担当、取締役兼常務執行役員コア技術事業本部長、石田耕一
開発本部長（開発本部副本部長兼装置開発兼商品企画室長）高田直毅
シンギュレーション開発本部長（シンギュレーション開発本部副本部長兼開発部長）黄善夏
管理本部法務部長（営業本部営業部長）西森悟
営業本部営業部長、岡本一太郎
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(2021年4月1日)
開発本部・シンギュレーション開発本部担当兼開発本部長兼シンギュレーション開発本部長兼坂東記念研究所長（生産本部担当）取締役兼常務執行役員、浦上浩
常務執行役員（上席執行役員新事業推進本部新事業推進部長）取締役新事業推進本部長、石田耕一
上席執行役員（執行役員）鈕方舜
上席執行役員（執行役員）韓相倫
管理本部長（経営企画本部長）執行役員、柴原信隆
営業本部営業戦略部長、執行役員営業本部長、三浦宗男
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