(2024年4月1日)
シンギュレーション事業本部長兼シンギュレーション開発兼シンギュレーション営業部長（シンギュレーション事業本部副本部長）岡本一太郎
シンギュレーション事業本部シンギュレーション技術部長（シンギュレーション事業部長）岩田康弘
生産本部システム生産技術（TOWA半導体設備蘇州総経理）村田正紀
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(2024年1月1日)
シンギュレーション事業本部担当、取締役兼執行役員営業本部長、三浦宗男
シンギュレーション事業本部副本部長（営業本部営業部長）岡本一太郎
営業本部営業部長（営業本部営業部次長）浜田直樹
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(2023年10月16日)
シンギュレーション事業本部担当（シンギュレーション開発本部担当）取締役常務執行役員・コア技術事業本部・開発本部・コア技術事業本部長、石田耕一
シンギュレーション事業本部長（シンギュレーション開発本部長）黄善夏
シンギュレーション事業本部シンギュレーション事業部長（シンギュレーション開発本部ソリューション部長）岩田康弘
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(2023年4月1日)
営業本部市場開発部長、取締役兼執行役員営業本部長兼営業戦略部長、三浦宗男
開発本部装置開発部長（開発本部装置開発部次長）中村守
シンギュレーション開発本部ソリューション部長（シンギュレーション開発本部開発部次長）岩田康弘
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(2022年6月29日)
取締役（執行役員兼TOWAMManagingDirector）蒲生喜代重
取締役、田中素子
退任（取締役）浦上浩
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(2022年6月29日)
上席執行役員、取締役、柴原信隆
取締役生産本部担当、執行役員生産本部長兼京都東事業所長兼九州事業所長、西村一洋
同営業本部担当、同営業本部長兼営業戦略・、三浦宗男
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(2022年4月1日)
フェロー兼TOWAレーザーフロント取締役（開発本部・シンギュレーション開発本部担当兼開発本部長兼シンギュレーション開発本部長）取締役兼常務執行役員、浦上浩
開発本部・シンギュレーション開発本部担当、取締役兼常務執行役員コア技術事業本部長、石田耕一
開発本部長（開発本部副本部長兼装置開発兼商品企画室長）高田直毅
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(2021年10月1日)
管理本部情報システム部長（情報システム部参与）井辻健仁
管理本部総務部参事（情報システム部長）村田浩
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(2021年9月16日)
開発本部商品企画室長、開発本部副本部長兼装置開発部長、高田直毅
開発本部装置開発部参事（開発本部商品企画室長）喜多仁
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(2021年6月29日)
取締役経営企画本部・管理本部担当、執行役員管理本部長、柴原信隆
顧問（取締役兼常務執行役員経営企画本部・管理本部担当）田村吉住
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(2021年4月1日)
開発本部・シンギュレーション開発本部担当兼開発本部長兼シンギュレーション開発本部長兼坂東記念研究所長（生産本部担当）取締役兼常務執行役員、浦上浩
常務執行役員（上席執行役員新事業推進本部新事業推進部長）取締役新事業推進本部長、石田耕一
上席執行役員（執行役員）鈕方舜
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(2020年6月26日)
取締役、後藤美穂
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(2020年4月1日)
生産本部担当（モールド事業部・システム事業部担当兼システム事業部長兼生産技術部長）取締役兼常務執行役員、浦上浩
執行役員生産本部長（モールド事業部長）京都東事業所長兼九州事業所長、西村一洋
執行役員、笹田秀典
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(2019年10月16日)
開発本部FMS開発部長、上席執行役員開発本部長兼坂東記念研究所長兼商品企画室長兼業務推進室長、早坂昇
システム事業部システム技術部長（開発本部FMS開発部長）喜多仁
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(2019年9月16日)
坂東記念研究所長、上席執行役員開発本部長兼商品企画室長兼業務推進室長、早坂昇
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(2018年10月1日)
モールド事業部・システム事業部担当（モールド事業部長兼京都東事業所長兼九州事業所長）取締役兼常務執行役員システム事業部長兼システム製造部長、浦上浩
モールド事業部長兼京都東事業所長兼九州事業所長（モールド事業部付部長）西村一洋
開発本部装置開発部長（開発本部装置開発部次長）高田直毅
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(2018年8月1日)
ＴＯＷＡレーザーフロント社長、取締役兼常務執行役員管理本部長、田村吉住
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(2018年4月1日)
営業本部・新事業推進本部担当（営業本部長）取締役兼上席執行役員新事業推進本部長、石田耕一
執行役員（東和半導体設備上海有限公司総経理）TOWA半導体設備蘇州有限公司総経理、鈕方舜
執行役員、TOWA韓国株式会社 代表理事、韓相倫
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(2018年3月16日)
バンディックに出向（管理本部総務部参与）寺内利浩
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(2018年3月1日)
経営企画本部企画部長、中西和彦
（経営企画本部企画部長）経営企画本部長兼輸出管理室参事、柴原信隆
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