(2016年7月1日)
開発・生産本部アカウントテクノロジー部長兼グローバルＲ＆Ｄ部長（ＢＵプロジェクト部長兼グローバル開発センター長兼技術マーケティング部長）執行役員、関口章久
開発・生産本部コーポレートプロジェクト部長、執行役員、西垣寿彦
開発・生産本部戦略推進部長（開発企画室長）山口光行
開発・生産本部開発企画部長（開発企画室室長代理）瀬川澄江
開発・生産本部アカウントテクノロジー部担当部長（技術マーケティング部部長代理）早川崇
開発・生産本部アカウントテクノロジー部担当部長（東京エレクトロン東北パートナービジネスデベロップメント部統括部長）石田博之
...続きを見る

(2016年2月1日)
コーポレート製品開発・製品開発部門担当、取締役兼常務執行役員開発・生産本部長、佐々木貞夫
コーポレート製品開発副担当（コーポレート開発部門担当）取締役兼常務執行役員開発・生産本部副本部長、鄭基市
製品開発部門副担当、執行役員、田原好文
革新技術企画部門担当兼革新技術企画室長（コーポレート開発部門副担当兼技術開発センター長）常務執行役員、保坂重敏
執行役員先端半導体技術部門担当兼ＢＵプロジェクト兼グローバル開発センター長兼技術マーケティング（ＳＰＥマーケティング部門担当兼ＳＰＥマーケティング兼パターニングソリューションプロジェクトリーダー）関口章久
製品開発センター長（技術開発センター副センター長）川上聡
...続きを見る