(2015年4月1日)
上席執行役員新規事業担当（執行役員経営企画室長）上志正博
監査役室長、島純子
ＣＳＲ推進室長（法務室長）長谷川俊一
秘書室長、朝永正雄
広報・ＩＲ室長、豊幾浩史
経営企画室長兼ＳＣＲＥＥＮビジネスサポートソリューションズ取締役（広報・ＩＲ室長）石川義久
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(2012年10月1日)
半導体機器カンパニー製造統轄部副統轄部長、購買・、矢彦宏二
法務・知財センター知財グループ法務・知財企画、松永康之
ＳＥＢＡＣＳ常務（半導体機器カンパニー生産管理統轄部長）田中嘉一
ＦＡＳＳＥ常務（同統轄部副統轄部長）藤木達司
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