(2019年7月1日)
CorporateInnovation本部長代理（CorporateMarketing担当）常務執行役員、堤秀介
CorporateInnovation本部DigitalTransformation担当（CorporateMarketing情報技術担当）執行役員、西垣寿彦
CorporateInnovation本部副本部長兼アライアンス戦略室長、関口章久
プロセスインテグレーションセンター長、大久保和哉
コーポレート技術マーケティング部長、早川崇
SDC装置開発部長（システム開発センター長）石沢繁
...続きを見る

(2017年10月1日)
技術戦略本部副本部長兼先端半導体技術部門グローバルＲ＆Ｄ担当（先端半導体技術部門担当）執行役員、関口章久
技術戦略本部情報技術戦略部門ビジネスイノベーション担当（同部門ビジネスイノベーション担当）同コーポレートプロジェクト部長・、西垣寿彦
第一開発生産本部システム開発部門担当（システム開発センター長）執行役員、田原計志
第一開発生産本部装置開発兼ＡＩ開発部長（東京エレクトロン宮城ソフト技術開発部長）石沢繁
第一開発生産本部システム開発部長（第一開発生産本部システム開発センター）松田克彦
第一開発生産本部ＰＦ開発部長（第一開発生産本部システム開発センター担当部長）堀内孝
...続きを見る