(2016年12月1日)
システムソリューション事業部ＡＳＥＴＴ推進室長、執行役員副事業部長、菅野孝幸
システムソリューション事業部カスタマーサービスセンター長（製造部門長）板羽昌行
システムソリューション事業部製造部門長（カスタマーサービスセンター長）西山浩光
システムソリューション事業部生産管理部門長兼生産管理部長（大阪支店長）前田英樹
システムソリューション事業部生産管理部門資材部長（ＡＳＥＴＴ推進室長）渡辺俊昌
大阪支店長、徳川雅昭
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(2016年4月1日)
固体事業推進室長（固体光源事業部長）取締役兼常務執行役員、伴野裕明
社長統括本部担当（経営本部長）取締役兼常務執行役員、小林敦之
常務執行役員（上級執行役員）光源事業部長、内藤宏治
執行役員システムソリューション事業部営業部門長（上級執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼マーケティング＆イノベーション部門長）直原正人
社長統括本部副本部長兼人事総務戦略部門長（経営本部副本部長）執行役員、戸丸明彦
システムソリューション事業部副事業部長兼開発設計部門長（営業部門長）執行役員、菅野孝幸
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(2015年4月1日)
Ｒ＆Ｄ本部担当（Ｒ＆Ｄ本部長）上級執行役員、林宏樹
光源事業部副事業部長、執行役員マーケティング＆イノベーション部門長、小曽根達悦
Ｒ＆Ｄ本部長（Ｒ＆Ｄ本部副本部長兼光源事業部マーケティング＆イノベーション部門副部門長）執行役員、吉岡正樹
光源事業部長（光源事業部副事業部長）同営業部門長、内藤宏治
経営本部人事、丸岡史明
Ｒ＆Ｄ本部プロセス開発（固体光源事業部モジュール技術）千賀岳人
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(2014年10月1日)
社長光源事業部長（代表取締役兼執行役員副社長）浜島健爾（はましまけんじ）
取締役相談役（社長）菅田史朗
経営本部担当（人事担当）取締役兼専務執行役員、多木正
ＳＳＬ事業部長（第一事業部長兼第二製造事業部担当）同兼常務執行役員、田中米太
バイオメディカル事業部長（バイオメディカル事業部担当）上級執行役員Ｒ＆Ｄ本部長、林宏樹
光源事業部副事業部長兼製造部門長（第一製造事業部長）上級執行役員、山口敬造
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