(2023年6月下旬)
取締役、執行役員、柴田基行
社外取締役、栗木康幸
監査役（取締役）三戸慎吾
社外監査役、山口更織
退任（取締役）出川定男
退任（常勤監査役）西山透
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(2015年6月19日)
会長（副会長兼執行役員ＣｏｒｐｏｒａｔｅＳｔｒａｔｅｇｙ・ＩＲ担当）常石哲男
社長（会長兼社長）ＣＥＯ、東哲郎
副社長兼ＣＯＯ事業推進統括本部長兼ビジネスユニット本部長（執行役員ＳＰＳＢＵＧＭ）河合利樹
グローバル・フィールド統括本部長（ＳＰＥ事業担当兼ＳＰＥ営業統括本部長兼ＥＳＢＵＧＭ）取締役兼専務執行役員、伊東晃
常務執行役員グローバル・フィールド統括本部副本部長（執行役員コーポレート開発本部／ＡＴＳ／ＦＰＤ／ＰＶＥ担当）取締役、鷲野憲治
同ファイナンス・リーガル本部長兼ＩＲ・コンプライアンス・内部統制担当（同コーポレート管理本部副本部長）同、堀哲朗
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(2015年6月17日)
取締役、執行役員、長谷川雅巳
同（東京エレクトロンＢＰ社長兼東京エレクトロンエージェンシー社長）佐伯幸雄
監査役、成瀬圭珠子
相談役（会長）砂川俊昭
退任（取締役）栗木康幸
退任（監査役）林田謙一郎
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(2015年1月1日)
社長（取締役兼執行役員）徳重敦之（とくしげあつし）
取締役（社長）栗木康幸
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