(2017年6月26日)
取締役、唐東雷
監査役、前田正宏
退任（取締役）梅中茂
退任（監査役）菊池克治
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(2015年4月1日)
会長（社長）太田邦正
社長兼ＣＥＯ（代表取締役計測社執行役員社長）吉田均（よしだひとし）
副社長兼ＣＯＯ（同半導体社執行役員社長）木村龍一
取締役（同生産統括）梅中茂
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