(2023年4月1日)
執行役員生産本部副本部長（FPD装置事業部製造部長）東福宏明
精機事業本部長（半導体装置事業部長）常務執行役員、浜谷正人
精機事業本部副事業本部長、常務執行役員FPD装置事業部長、戸口学
アドバンストマニュファクチャリング事業部副事業部長（デジタルソリューションズ事業部副事業部長）執行役員、ハミッド・ザリンガラム
アドバンストマニュファクチャリング事業部長兼次世代プロジェクト本部担当（次世代プロジェクト本部長）執行役員、柴崎祐一
精機事業本部半導体装置事業部長（半導体装置事業部副事業部長）執行役員、森田真弘
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(2022年1月1日)
半導体装置事業部副事業部長（開発統括部長）執行役員、森田真弘
財務・経理本部副本部長、松本武史
半導体装置事業部開発統括部長、白田陽介
カスタムプロダクツ事業部営業部長、千葉明広
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(2021年4月1日)
CTO（デジタルソリューションズ事業部担当）代表取締役兼社長執行役員兼CEO、馬立稔和
CAO兼CRO経営管理本部長（人事・総務本部長兼リスク管理・経営監査部担当）代表取締役兼専務執行役員、小田島匠
経営監査部・サステナビリティ戦略部・ITソリューション本部担当、取締役兼専務執行役員兼CFO、徳成旨亮
常務執行役員兼CMO（執行役員半導体装置事業部副事業部長）生産本部長、石塚伸之
常務執行役員社長室長兼光学本部担当（同光学本部長）大村泰弘
執行役員、半導体装置事業部開発統括部長、森田真弘
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(2020年7月1日)
国土交通省東北地方整備局副局長、伊藤和久
官房審議官、黒田昌義
不動産・建設経済局長、青木由行
不動産・建設経済局次長、松原明紀
国土技術政策総合研究所総務部長、砂川勝憲
国土技術政策総合研究所都市研究部長、芭蕉宮総一郎
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