(2016年4月1日)
輸出管理責任者兼サービス・ソリューション事業推進本部長、執行役専務科学・医用システム事業統括本部長、池田俊幸
ＣＴＯ、執行役電子デバイスシステム事業統括本部長、木村勝高
執行役専務リスクマネジメント責任者兼ＣＲＯ（執行役常務）ＣＦＯ財務本部長、宇野俊一
執行役常務モノづくり戦略本部長（執行役）モノづくり・品質保証責任者兼科学・医用システム事業統括本部那珂地区生産本部長、本田穣慈
日立ハイテクサイエンス社長（科学・医用システム事業統括本部科学システム営業本部長）執行役科学・医用システム事業統括本部副統括本部長、岡田務
執行役電子デバイスシステム事業統括本部副統括本部長、評価装置営業本部長、石和太
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(2014年4月1日)
新事業創生本部長（経営戦略本部長）執行役専務兼ＣＴＯ、松坂尚
ＣＦＯ、執行役常務財務本部長、宇野俊一
監査室（営業統括本部茨城支店管理）竹平純一郎
人事総務本部長（人事総務本部副本部長兼人事総務企画）疋田邦雄
同本部人事総務企画、桜井洋輔
知的財産、冨永公顕
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(2011年10月1日)
営業統括本部関西支店材料、梶本孝雄
モノづくり統括本部那珂地区生産本部生産技術、那珂地区生産本部副本部長、富岡秀起
商事戦略本部事業戦略、田辺正司
工業材料営業本部工業材料二（工業材料一）内山徹也
同工業材料一、小熊肇
電子デバイスシステム事業統括本部評価システム設計開発本部主管技師、野副真理
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