(2022年6月21日)
コーポレートオフィサー、社長兼CEOCorporateInnovation本部長、河合利樹
コーポレートオフィサー、代表取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
取締役会議長（専務執行役員GlobalBusinessPlatform本部長兼内部統制担当）取締役、布川好一
コーポレートオフィサーGlobalBusinessPlatform本部長兼内部統制担当（取締役GlobalBusinessPlatform本部副本部長兼東京エレクトロンBP取締役兼東京エレクトロンエージェンシー取締役）常務執行役員長、久保達也
コーポレートオフィサー（取締役）常務執行役員AccountSales本部長、池田世崇
コーポレートオフィサー（取締役）常務執行役員SPE事業本部長、三田野好伸
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(2018年7月1日)
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＩｎｎｏｖａｔｉｏｎ本部長（事業本部長）社長兼ＣＥＯ、河合利樹
生産技術部門担当（第二開発生産本部長兼調達・生産企画室長）取締役兼専務執行役員、北山博文
人事・総務・ＣＳＲ本部長兼法務・コンプライアンス本部長（人事・総務本部長兼コンプライアンス担当）取締役兼常務執行役員長、久保達也
フィールドソリューション事業本部長（ＦＳＢＵＧＭ）取締役兼常務執行役員、春原清
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＭａｒｋｅｔｉｎｇ担当（グローバル・フィールド本部統括本部長）常務執行役員、堤秀介
ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部長兼ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部ＧＭ（グローバル・フィールド本部統括副本部長兼リージョン戦略企画本部長）常務執行役員、大久保豪
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(2017年7月1日)
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ取締役（東京エレクトロン山梨取締役兼東京エレクトロン東北取締役）社長兼ＣＥＯ事業本部長、河合利樹
同社長（東京エレクトロン東北社長兼東京エレクトロン山梨取締役）代表取締役兼専務執行役員開発・生産本部長、佐々木貞夫
同取締役（東京エレクトロン山梨取締役兼東京エレクトロン東北取締役）取締役、北山博文
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(2016年12月1日)
（TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.ChairmanoftheBoard）代表取締役社長・CEO事業本部長TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.MemberoftheBoard、河合利樹
TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.ChairmanoftheBoard（TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.President,MemberoftheBoard）常務執行役員・グローバル戦略担当・TokyoElectronAmerica,Inc.MemberoftheBoardTELTechnologyCenter,America,LLCManagerTELVentureCapital,Inc.MemberoftheBoardTELEpionInc.MemberoftheBoardTELNEXX,Inc.MemberoftheBoardTELFSI,Inc.MemberoftheBoard、バリー・メイヤー＝BarryMayerr
TokyoElectronU.S.Holdings,Inc.President,MemberoftheBoard、TokyoElectronAmerica,Inc.President,MemberoftheBoard、ラリー・スミス＝LarrySmith
米国リージョン本部副本部長、Tokyo Electron America, Inc. SVP、ケビン・チェイシー＝KevinChasey
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