(2017年4月1日)
ＨＲ・インフラ統轄担当兼ビジネス本部長、代表取締役兼社長執行役員、須原忠浩
びわこ工場担当（ＣＣＳ製品統轄部長）取締役兼常務執行役員、後藤正人
アライアンス担当（開発統轄・彦根地区担当）常務執行役員、内田博文
社長オフィス長、執行役員経営戦略統轄担当、野口裕美
執行役員ＣＣＳ製品統轄部長（開発統轄部長）田中真人
執行役員兼ＳＣＲＥＥＮＳＰＥＧｅｒｍａｎｙ社長（シニア・ストラテジー・エグゼクティブ兼ＣＴＯ室長）大塚純二
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(2017年4月1日)
第三技術開発室長、第一技術開発室長、吉岡正喜
ＳＣｉ室長、西村良明
ＨＲ・インフラ統轄部長兼ＨＲ・インフラ部長（経営戦略統轄部副統轄部長兼経営戦略部長）今井渉
経営戦略統轄部副統轄部長、業務改革推進部長・、藤井康徳
品質統轄部副統轄部長（ＣＣＳ製品統轄部プロダクトマネジメント部長）岩本正巳
ＣＣＳ製品統轄部副統轄部長（アプリケーション技術部長）新居健一郎
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(2014年10月1日)
取締役兼最高技術責任者、オリヴィエ・ヴァテール
監査役、谷田研一
経営企画、岡本昭彦
統轄部長、大塚純二
副統轄部長、チャールズ・ペチュレスキー
同、ルーク・チャン
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(2014年4月1日)
副会長（社長兼最高執行責任者）橋本正博
社長兼最高執行責任者（取締役広報ＩＲ・ＧＰＳ・Ｇ10担当）垣内永次
管理本部副本部長（経営戦略本部長兼ディ・エス・ファイナンス社長）取締役ビジネスサービスセンター長、南島新
経営戦略本部長広報ＩＲ・ＧＰＳ・Ｇ10担当（ビジネスサービスセンター副センター長兼人事Ｇ長）取締役、沖勝登志
ＦＰＤ機器Ｃ会長（ＦＰＤ機器Ｃ社長兼成膜応用技術統轄部長）常務執行役員、林隼人
同社長兼成膜応用技術統轄部長（技術開発センター副センター長兼エネルギー開発Ｇ長）上席執行役員、広江敏朗
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