(2024年4月1日)
執行役員副社長兼COO兼CSuO（常務執行役員ESG推進本部長）取締役、中野哲男
フォトリソ事業部長（事業統括本部副本部長兼LifeScience事業部長）取締役兼常務執行役員、神山和久
上級執行役員事業創出本部長兼研究開発部門長兼マーケティング部門長兼技術戦略推進準備室長（執行役員）小高大樹
光プロセス事業部長（事業統括本部IndustrialProcess事業部長）執行役員、安部建吉
人事総務部門担当（経営統括本部グループ人事総務戦略部門長）執行役員、木下誠
フォトリソ事業部副事業部長（事業統括本部生産本部長兼生管資材部門長）執行役員、前田英樹
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(2023年4月1日)
経営統括本部グループ経営戦略部門長、取締役兼常務執行役員兼CFO経営統括本部長、朝日崇文
経営統括本部事業創出本部マーケティング部門長、上級執行役員事業創出本部長、井ノ迫伸啓
事業統括本部IndustrialProcess事業部長（牛尾貿易上海総経理）執行役員、安部建吉
事業統括本部PhotonicsSolutions・グローバルビジネスユニット長、グループ執行役員、ウィリアム・F・マッケンジー（William F. Mackenzie）
経営統括本部グループ人事総務戦略部門副部門長、ESG推進本部ESG推進室長、今井貴紀
経営統括本部グループ経営戦略部門法務部長、礒部直孝
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(2022年4月1日)
CEO、社長兼執行役員社長、内藤宏治
執行役員副社長兼COO（専務執行役員インキュベーションセンター長）代表取締役事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
常務執行役員事業統括本部副本部長兼光源事業部長（グループ上級執行役員クリスティデジタルシステムズ社長）取締役、神山和久
常務執行役員兼CFO（上級執行役員）取締役経営統括本部長、朝日崇文
専務執行役員（グループ専務執行役員）徳広慶三
ESG推進本部長（事業統括本部副本部長兼光源事業部長）常務執行役員、中野哲男
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(2021年4月1日)
ウシオテクノラボ未来共創部長、R&D本部パワー・システム部長、鮫島貴紀
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット長（第一技術部門第三技術部長）嶋利之
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット営業部長、松本拓也
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット技術部長、河野洋一
事業統括本部光源事業部プロジェクションビジネスユニット長（営業部門長）渡辺剛徳
事業統括本部光源事業部プロジェクションビジネスユニット営業部長（営業部門第一営業部長）小清水悟志
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