(2018年3月29日)
副社長（専務総合クリエイションセンター担当）飯島幹雄
専務（常務）横浜通雄
専務総合クリエイションセンター担当（常務管財部長）総務本部長、会田正久
専務（常務）営業統括本部長、犬塚勇
専務（常務）関根治
専務（常務生産企画本部長兼生産企画部長）生産統括本部長、深沢忠史
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(2017年4月1日)
監査センター長（東京エレクトロン九州執行役員）伊吹方志
東京エレクトロン健康保険組合常務理事兼東京エレクトロン企業年金基金常務理事（監査センター長）犬塚勇
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(2014年10月29日)
デイリーヤマザキ事業統括本部担当、専務、飯島幹雄
小売事業本部長、常務営業統括本部長、犬塚勇
購買本部・海外事業統括本部担当（デイリーヤマザキ事業統括本部担当）常務、飯島佐知彦
執行役員デイリーヤマザキ事業統括本部長（小売事業本部長）島田克哉
生産企画本部ＢＳＭ研究企画マーケティング、中村正孝
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(2013年8月27日)
専務（常務）飯島幹雄
常務営業統括本部・広域流通営業本部・小売事業本部・販売物流本部・営業教育研修部担当（取締役）営業統括本部長兼小売事業本部長、犬塚勇
常務（同）飯島佐知彦
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