(2019年6月18日)
第四開発生産本部長兼EHS・品質・調達・生産技術部門担当兼山梨事業所長、取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長、佐々木貞夫
業務改革プロジェクト担当兼業務改革プロジェクトリーダー（業務改革プロジェクト副担当兼業務改革プロジェクトサブリーダー）取締役兼常務執行役員フィールドソリューション事業本部長、春原清
取締役兼専務執行役員ファイナンス本部・輸出物流管理本部・内部統制担当（常勤監査役）布川好一
エグゼクティブアドバイザー（取締役兼専務執行役員）飽本正巳
常務執行役員業務改革プロジェクト・グローバルコミュニケーション担当（同兼専務執行役員業務改革プロジェクト副担当）業務改革プロジェクトサブリーダー、堀哲朗
常務執行役員（執行役員）FPD事業本部長兼新製品プロジェクト部長、松浦次彦
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(2017年10月1日)
技術戦略本部副本部長兼先端半導体技術部門グローバルＲ＆Ｄ担当（先端半導体技術部門担当）執行役員、関口章久
技術戦略本部情報技術戦略部門ビジネスイノベーション担当（同部門ビジネスイノベーション担当）同コーポレートプロジェクト部長・、西垣寿彦
第一開発生産本部システム開発部門担当（システム開発センター長）執行役員、田原計志
第一開発生産本部装置開発兼ＡＩ開発部長（東京エレクトロン宮城ソフト技術開発部長）石沢繁
第一開発生産本部システム開発部長（第一開発生産本部システム開発センター）松田克彦
第一開発生産本部ＰＦ開発部長（第一開発生産本部システム開発センター担当部長）堀内孝
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(2017年6月1日)
取締役第一開発生産本部長（代表取締役開発・生産本部長兼製品開発部門担当）専務執行役員、佐々木貞夫
専務執行役員第二開発生産本部長、取締役、北山博文
同第三開発生産本部長（常務執行役員開発・生産本部開発副本部長）取締役、飽本正巳
技術戦略本部長（開発・生産本部開発副本部長）同兼常務執行役員、鄭基市
常務執行役員（執行役員）取締役コーポレート管理本部副本部長、長久保達也
同第四開発生産本部長（同開発・生産本部開発副本部長兼製品開発部門担当）田原好文
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(2016年7月1日)
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼コーポレート製品開発副担当）取締役兼常務執行役員、鄭基市
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼塗布・洗浄担当）取締役兼常務執行役員、飽本正巳
常務執行役員グローバル・フィールド本部統括副本部長（執行役員ＳＤＢＵＧＭ）大久保豪
常務執行役員塗布・洗浄ＢＵＧＭ（執行役員ＣＴＢＵＧＭ）池田世崇
常務執行役員（執行役員）ＦＳＢＵＧＭ、春原清
成膜ＢＵＧＭ（ＴＰＳＢＵＧＭ）執行役員、多田新吾
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