(2024年7月1日)
開発生産本部・コーポレート生産本部担当兼業務改革DX推進プロジェクトリーダー、副社長兼コーポレートオフィサーコーポレート生産本部ディビジョンオフィサー、佐々木貞夫
GlobalBusinessPlatform本部・ファイナンス本部担当（GlobalBusinessPlatform本部長兼業務改革プロジェクトリーダー兼内部統制担当兼TELMagneticSolutionsMemberoftheBoard兼TokyoElectronIndiaMemberoftheBoard）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
AccountSales本部担当（AccountSales本部長兼TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、池田世崇
CorporateInnovation本部担当（SPE事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
GlobalSales本部・GlobalCustomerEngineering本部担当（GlobalSales本部長兼DSS事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員、大久保豪
常務執行役員前工程事業本部ディビジョンオフィサー（執行役員ESBUGM）コーポレートオフィサー、石田博之
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(2024年4月1日)
ファイナンスユニット副ユニットGM兼貿易管理部長（輸出・物流管理部長）河田伸幸
販売物流管理部長、奥村知宏
法務コンプライアンスユニットGM補佐兼コーポレートガバナンス部長（法務部長）真藤誠
法務部長、知的財産部長、佐久間健
財務部長（リスクマネジメント室長）宗像均
アカウント戦略企画部長、インテグレーション企画部長、大久保和哉
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(2021年7月1日)
ITユニット副ユニットGM、峰島孝之
フィールドソリューション一部長、宇城満山
経理部長、松村晃文
法務部長、真藤誠
（フィールドソリューション一部長）執行役員 FS BUGM、中原哲也
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