(2023年4月1日)
DSS事業本部長（フィールドソリューション事業本部長）コーポレートオフィサー兼専務執行役員GlobalSales本部長、大久保豪
DSSBUGM（FSBUGM）執行役員、石田寛
DSSBUGM（FPDBUGM兼ファインコーティングプロセス部長）帰山武郎
システムマーケティング部長、熊井寿和
SPEシステム部長（フィールドソリューション一部長）宇城満山
ディスプレイシステム部長（ドライプロセス部長）川野雅史
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(2022年7月1日)
副社長（専務執行役員第四開発生産本部長）コーポレートオフィサー第一開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
専務執行役員人事総務ユニットGM（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalBusinessPlatform本部長、長久保達也
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーAccountSales本部長、池田世崇
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーSPE事業本部長、三田野好伸
専務執行役員フィールドソリューション事業本部長（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalSales本部長、大久保豪
常務執行役員（執行役員）第二開発生産本部長、児島雅之
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(2014年7月1日)
商品企画、執行役員ＳＤＢＵＧＭ、大久保豪
３ＤＩ（ＦＰＤ事業戦略室長）八巻郁郎
ＦＰＤシステム企画、石田寛
東京エレクトロンシンガポールディレクター（３ＤＩ）伊藤秀樹
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