(2023年11月1日)
IR室長、高木純子
IR室グローバルヘッド（IR室長）八田浩一
コーポレート生産本部長補佐、立山清久
TEL Manufacturing and 　Engineering of America,Inc. 　Senior Executive 　Vice President TEL Technology Center, 　America, LLC 　Member of the Board（Corporate Innovation本部 副本部長）東京エレクトロン九州(株) 　執行役員 TEL Manufacturing and 　Engineering of America,Inc. 　Member of the Board 、北野淳一
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(2021年9月1日)
コーポレート生産本部長（EHS・品質・調達・生産技術部門担当）代表取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
コーポレート生産本部副本部長兼GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）福島弘樹
コーポレート生産本部GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）井上久司
コーポレート生産本部GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）立山清久
CTSPS営業一部長（サーフェスプレパレーションシステム営業部長）西新哲也
CTSPS営業二部長（クリーントラック営業部長）三浦公也
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(2021年6月18日)
EHS・品質・調達・生産技術部門GM（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ専務執行役員）福島弘樹
EHS・品質・調達・生産技術部門GM（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ執行役員）井上久司
EHS・品質・調達・生産技術部門GM（東京エレクトロン九州常務執行役員）立山清久
アドバイザー（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ監査役兼東京エレクトロン宮城監査役）平井康司
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(2017年6月1日)
取締役第一開発生産本部長（代表取締役開発・生産本部長兼製品開発部門担当）専務執行役員、佐々木貞夫
専務執行役員第二開発生産本部長、取締役、北山博文
同第三開発生産本部長（常務執行役員開発・生産本部開発副本部長）取締役、飽本正巳
技術戦略本部長（開発・生産本部開発副本部長）同兼常務執行役員、鄭基市
常務執行役員（執行役員）取締役コーポレート管理本部副本部長、長久保達也
同第四開発生産本部長（同開発・生産本部開発副本部長兼製品開発部門担当）田原好文
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