(2020年4月1日)
事業統括本部インキュベーションセンター長、取締役兼専務執行役員事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員事業統括本部光源事業部副事業部長、河本雅人
事業統括本部システムソリューション事業部EUV事業部門ビジネス統括部長、執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼EUV事業部門長、井ノ迫伸啓
ウシオテクノラボ長、浅見幸雄
経営統括本部経営戦略部門経営企画部長（秘書室長）西尾哲也
経営統括本部人事総務戦略部門人事部長、人事総務戦略部門長、丸岡史明
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(2018年4月1日)
システムソリューション事業部副事業部長（システムソリューション事業部次長）執行役員マーケティング＆イノベーション部門長兼ＥＵＶ事業化プロジェクトリーダー、井ノ迫伸啓
社長統括本部経営戦略部門長、社長統括本部次長兼経営企画部長・、朝日崇文
品質保証部門長、同統括本部人事総務戦略部門総務・ＲＭ部長・、釜谷佳治
業務監査室長、山崎直美
技術統括本部開発支援室長、山口明康
技術統括本部プロセス評価部長、福田忠司
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(2016年4月1日)
固体事業推進室長（固体光源事業部長）取締役兼常務執行役員、伴野裕明
社長統括本部担当（経営本部長）取締役兼常務執行役員、小林敦之
常務執行役員（上級執行役員）光源事業部長、内藤宏治
執行役員システムソリューション事業部営業部門長（上級執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼マーケティング＆イノベーション部門長）直原正人
社長統括本部副本部長兼人事総務戦略部門長（経営本部副本部長）執行役員、戸丸明彦
システムソリューション事業部副事業部長兼開発設計部門長（営業部門長）執行役員、菅野孝幸
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(2014年10月1日)
社長光源事業部長（代表取締役兼執行役員副社長）浜島健爾（はましまけんじ）
取締役相談役（社長）菅田史朗
経営本部担当（人事担当）取締役兼専務執行役員、多木正
ＳＳＬ事業部長（第一事業部長兼第二製造事業部担当）同兼常務執行役員、田中米太
バイオメディカル事業部長（バイオメディカル事業部担当）上級執行役員Ｒ＆Ｄ本部長、林宏樹
光源事業部副事業部長兼製造部門長（第一製造事業部長）上級執行役員、山口敬造
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