(2019年7月1日)
CorporateInnovation本部長代理（CorporateMarketing担当）常務執行役員、堤秀介
CorporateInnovation本部DigitalTransformation担当（CorporateMarketing情報技術担当）執行役員、西垣寿彦
CorporateInnovation本部副本部長兼アライアンス戦略室長、関口章久
プロセスインテグレーションセンター長、大久保和哉
コーポレート技術マーケティング部長、早川崇
SDC装置開発部長（システム開発センター長）石沢繁
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(2018年7月1日)
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＩｎｎｏｖａｔｉｏｎ本部長（事業本部長）社長兼ＣＥＯ、河合利樹
生産技術部門担当（第二開発生産本部長兼調達・生産企画室長）取締役兼専務執行役員、北山博文
人事・総務・ＣＳＲ本部長兼法務・コンプライアンス本部長（人事・総務本部長兼コンプライアンス担当）取締役兼常務執行役員長、久保達也
フィールドソリューション事業本部長（ＦＳＢＵＧＭ）取締役兼常務執行役員、春原清
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＭａｒｋｅｔｉｎｇ担当（グローバル・フィールド本部統括本部長）常務執行役員、堤秀介
ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部長兼ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部ＧＭ（グローバル・フィールド本部統括副本部長兼リージョン戦略企画本部長）常務執行役員、大久保豪
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(2017年10月1日)
技術戦略本部副本部長兼先端半導体技術部門グローバルＲ＆Ｄ担当（先端半導体技術部門担当）執行役員、関口章久
技術戦略本部情報技術戦略部門ビジネスイノベーション担当（同部門ビジネスイノベーション担当）同コーポレートプロジェクト部長・、西垣寿彦
第一開発生産本部システム開発部門担当（システム開発センター長）執行役員、田原計志
第一開発生産本部装置開発兼ＡＩ開発部長（東京エレクトロン宮城ソフト技術開発部長）石沢繁
第一開発生産本部システム開発部長（第一開発生産本部システム開発センター）松田克彦
第一開発生産本部ＰＦ開発部長（第一開発生産本部システム開発センター担当部長）堀内孝
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(2017年6月1日)
取締役第一開発生産本部長（代表取締役開発・生産本部長兼製品開発部門担当）専務執行役員、佐々木貞夫
専務執行役員第二開発生産本部長、取締役、北山博文
同第三開発生産本部長（常務執行役員開発・生産本部開発副本部長）取締役、飽本正巳
技術戦略本部長（開発・生産本部開発副本部長）同兼常務執行役員、鄭基市
常務執行役員（執行役員）取締役コーポレート管理本部副本部長、長久保達也
同第四開発生産本部長（同開発・生産本部開発副本部長兼製品開発部門担当）田原好文
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