(2016年7月1日)
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼コーポレート製品開発副担当）取締役兼常務執行役員、鄭基市
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼塗布・洗浄担当）取締役兼常務執行役員、飽本正巳
常務執行役員グローバル・フィールド本部統括副本部長（執行役員ＳＤＢＵＧＭ）大久保豪
常務執行役員塗布・洗浄ＢＵＧＭ（執行役員ＣＴＢＵＧＭ）池田世崇
常務執行役員（執行役員）ＦＳＢＵＧＭ、春原清
成膜ＢＵＧＭ（ＴＰＳＢＵＧＭ）執行役員、多田新吾
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(2014年8月1日)
サーマルプロセスシステム営業一、水上幸治
サーマルプロセスシステム営業二（サーマルプロセスシステム営業）高村義雄
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(2012年4月1日)
経理／輸出・物流管理担当兼東京エレクトロンエージェンシー取締役、取締役兼執行役員コーポレート管理本部副本部長、原田芳輝
ＰＶＥ統合プロジェクト推進室長、常務執行役員ＰＶＥ本部長、伊藤高司
ＰＶＥ統合プロジェクト推進担当（経理／財務／輸出・物流管理担当兼東京エレクトロンＢＰ取締役兼東京エレクトロンエージェンシー取締役兼ＴＥＬベンチャーキャピタルディレクター兼ＴＥＬエピオンディレクター）執行役員、七沢豊
財務・経営戦略担当兼ＴＥＬエピオンディレクター（経営戦略室長）同知的財産・、堀哲朗
クリーントラック営業第一、執行役員ＣＴＢＵＧＭ、池田世崇
クリーントラックマーケティング、横森憲敬
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