(2021年4月1日)
ウシオテクノラボ未来共創部長、R&D本部パワー・システム部長、鮫島貴紀
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット長（第一技術部門第三技術部長）嶋利之
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット営業部長、松本拓也
事業統括本部光源事業部SHビジネスユニット技術部長、河野洋一
事業統括本部光源事業部プロジェクションビジネスユニット長（営業部門長）渡辺剛徳
事業統括本部光源事業部プロジェクションビジネスユニット営業部長（営業部門第一営業部長）小清水悟志
...続きを見る

(2020年4月1日)
事業統括本部インキュベーションセンター長、取締役兼専務執行役員事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員事業統括本部光源事業部副事業部長、河本雅人
事業統括本部システムソリューション事業部EUV事業部門ビジネス統括部長、執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼EUV事業部門長、井ノ迫伸啓
ウシオテクノラボ長、浅見幸雄
経営統括本部経営戦略部門経営企画部長（秘書室長）西尾哲也
経営統括本部人事総務戦略部門人事部長、人事総務戦略部門長、丸岡史明
...続きを見る

(2014年4月1日)
代表取締役兼執行役員副社長（取締役兼専務執行役員）浜島健爾
人事担当（管理本部長）取締役兼専務執行役員、多木正
第一事業部担当（第一事業部長兼カスタマーサービスセンター・新規開拓室・大阪支店・第一製造事業部・第二製造事業部担当）同兼専務執行役員、徳広慶三
固体光源事業部長兼第三事業部担当（アジアマーケティング室長兼第二事業部長）同兼常務執行役員、伴野裕明
第一事業部長兼第二製造事業部担当（技術統括部長）同兼常務執行役員、田中米太
技術統括部長兼バイオメディカル事業部担当（技術統括部副部長兼第三事業部担当）上級執行役員、林宏樹
...続きを見る

(2013年4月1日)
経営本部担当（ＣＦＯ経営本部長）取締役兼専務執行役員、大島誠司
事業本部品質保証センター担当、取締役兼常務執行役員、多田龍太郎
経営本部長、上級執行役員事業本部事業企画・、小林敦之
上級執行役員（執行役員）事業本部第一製造事業部長、山口敬造
事業本部第一事業部副事業部長（第一事業部次長兼露光ＢＵ長）執行役員、井上豊治
執行役員、事業本部第二製造事業部、長辻宏二
...続きを見る