(2024年4月1日)
執行役員副社長兼COO兼CSuO（常務執行役員ESG推進本部長）取締役、中野哲男
フォトリソ事業部長（事業統括本部副本部長兼LifeScience事業部長）取締役兼常務執行役員、神山和久
上級執行役員事業創出本部長兼研究開発部門長兼マーケティング部門長兼技術戦略推進準備室長（執行役員）小高大樹
光プロセス事業部長（事業統括本部IndustrialProcess事業部長）執行役員、安部建吉
人事総務部門担当（経営統括本部グループ人事総務戦略部門長）執行役員、木下誠
フォトリソ事業部副事業部長（事業統括本部生産本部長兼生管資材部門長）執行役員、前田英樹
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(2022年4月1日)
CEO、社長兼執行役員社長、内藤宏治
執行役員副社長兼COO（専務執行役員インキュベーションセンター長）代表取締役事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
常務執行役員事業統括本部副本部長兼光源事業部長（グループ上級執行役員クリスティデジタルシステムズ社長）取締役、神山和久
常務執行役員兼CFO（上級執行役員）取締役経営統括本部長、朝日崇文
専務執行役員（グループ専務執行役員）徳広慶三
ESG推進本部長（事業統括本部副本部長兼光源事業部長）常務執行役員、中野哲男
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(2020年4月1日)
事業統括本部インキュベーションセンター長、取締役兼専務執行役員事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員事業統括本部光源事業部副事業部長、河本雅人
事業統括本部システムソリューション事業部EUV事業部門ビジネス統括部長、執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼EUV事業部門長、井ノ迫伸啓
ウシオテクノラボ長、浅見幸雄
経営統括本部経営戦略部門経営企画部長（秘書室長）西尾哲也
経営統括本部人事総務戦略部門人事部長、人事総務戦略部門長、丸岡史明
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(2016年4月1日)
固体事業推進室長（固体光源事業部長）取締役兼常務執行役員、伴野裕明
社長統括本部担当（経営本部長）取締役兼常務執行役員、小林敦之
常務執行役員（上級執行役員）光源事業部長、内藤宏治
執行役員システムソリューション事業部営業部門長（上級執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼マーケティング＆イノベーション部門長）直原正人
社長統括本部副本部長兼人事総務戦略部門長（経営本部副本部長）執行役員、戸丸明彦
システムソリューション事業部副事業部長兼開発設計部門長（営業部門長）執行役員、菅野孝幸
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