(2023年4月1日)
地球環境戦略推進室副室長兼地球環境戦略推進室部長（生産企画本部CS品質・環境企画部長）木村勝己
地球環境戦略推進室部長、技術開発本部環境・材料開発部長、関俊一
地球環境戦略推進室部長（経営戦略・管理本部経営戦略推進部長）経営戦略・管理本部副本部長、宇都宮純夫
地球環境戦略推進室部長、経営戦略・管理本部企画渉外兼サステナビリティ推進室部長、藤崎康二郎
地球環境戦略推進室部長、DX推進本部副本部長兼DX戦略推進兼VSMプロジェクト部長、津田敦也
地球環境戦略推進室部長、生産企画本部生産企画部長、小須田直紀
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(2023年4月1日)
イノベーション事業開発センター企画室長、青木聡
イノベーション事業開発センタービジネス開発部長、伊藤真弥
イノベーション事業開発センターソリューション開発部長、小田高広
イノベーション事業開発センターCFビジネス開発部長、鈴木貴人
社会インフラソリューション事業部副事業部長、中村武文
社会インフラソリューション事業部副事業部長、稲葉晋一
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(2023年4月1日)
技術本部副本部長、佐藤義則
技術本部技術企画部戦略企画室長、寺村浩二
技術本部技術企画部データマネジメント室長、須崎昌彦
技術本部技術企画部設計基盤室長、笹島正夫
技術本部研究開発センターフォトニクス研究開発部長、村井仁
技術本部研究開発センターAI研究開発部担当部長、山本一真
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(2023年4月1日)
コンプライアンス部長、林泰斗
財務部長、蜂谷将平
エッジコンピューティング事業部エッジデバイス部長、エッジコンピューティング事業部長、若林研悟
四日市研究センター精密電子研究所副所長、アドバンスリソグラフィー材料開発室長、丸山研
同研究所リソグラフィーソリューション開発室長、高梨和憲
RDテクノロジー・デジタル変革センターJSR・東京大学協創拠点CURIE室長、長谷川公一
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